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Deposição e caracterização de filmes finos de TiOx formados por DC Magnetron Sputtering reativo: estudo de transição estrutural

Autor Principal:	Adriano Friedrich Feil
Formato:	Tesis
Publicado:	2018
Materias:	Ingeniería
Acceso en línea:	http://verum.pucrs.br/F/?func=direct&doc_number=000346970&local_base=PUC01
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