Diagnostic of Capacitively Coupled Low Pressure Radio Frequency Plasma: An Approach through Electrical Discharge Characteristic
| Autor Principal: | Bora, Biswajit. |
|---|---|
| Formato: | Artículo |
| Idioma: | eng |
| Publicado: |
2016
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| Acceso en línea: |
2010-362X |
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