Deposição e caracterização de filmes finos de TiOx formados por DC Magnetron Sputtering reativo: estudo de transição estrutural
| Autor Principal: | Adriano Friedrich Feil |
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| Formato: | Tesis |
| Publicado: |
2018
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| Materias: | |
| Acceso en línea: |
http://verum.pucrs.br/F/?func=direct&doc_number=000346970&local_base=PUC01 |
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