Measurements of time average series resonance effect in capacitively coupled radio frequency discharge plasma
por: Bora, Biswajit.
Publicado: (2016)
Theoretical approach for plasma series resonance effect in geometrically symmetric dual radio frequency plasma
| Autor Principal: | Bora, Biswajit. |
|---|---|
| Formato: | Artículo |
| Idioma: | English |
| Publicado: |
2016
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| Acceso en línea: |
0003-6951 |
| Etiquetas: |
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